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微電子工業潔凈廠房的設計是一項綜合技術,它與其他工業廠房裝修設計有類似之處,但也有一些特殊之處。其主要特點如下:
一、要根據生產產品的特點,確定技術要求。如空氣潔凈等級、防微振、高純物質等要求是不同的,應按具體情況確定。
二、為確保潔凈室內所必須的潔凈度,各個專業均要求不引入或少引入污染物,不產生和少產生污染物,不滯留或少滯留污染物。
三、潔凈廠房的設計是各專業設計技術的綜合,要求各專業密切協同,相互滲透和合理安排。
四、潔凈廠房的設計應確保安全生產和環保要求。各專業設計必須滿足消防防火要求。同時由于微電子工業的生產特點,生產過程中產生出一些廢水、廢氣,必須經過特殊處理達到國家排放標準后才能排放。
五、微電子工業發展日新月異,潔凈廠房本身是一個技術密集、資金密集的產物,投資非常巨大,這就要求潔凈廠房的設計要考慮一定的靈活性,以便產品換代時方便地進行技術改造。
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