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半導體集成電路潔凈廠房裝修工程中,一般水平的污染控制階段為吊頂板安裝之前的施工作業,工作內容如墻、地、梁面的防塵涂裝、活動地板安裝、壁板及吊頂的龍骨安裝、空調機組安裝、動力設備、一次配管和配線等。在建筑垃圾、粉塵清理、吹掃完畢后開始施工,服裝、鞋具、材料必須干凈。
一、砼結構環氧樹脂墻、柱、梁面
(1)檢查結構構件,有缺陷需先確定修補方法。
(2)構件表面清理干凈。
(3)缺陷修補。
(4)面層施工。控制材料配比和顏色,分遍涂裝并保證遍間時間間隔,不能出現流墜。
二、 砌體環氧樹脂墻面
(1)檢查抹灰層質量、強度、干燥度,有缺陷需先確定修補方法。
(2)抹灰層表面通過刮、擦或洗等方式清理表面污染物,干燥后用高壓氣體吹或吸塵器吸除灰塵。
(3)缺陷修補。
(4)面層施工。控制材料配比和顏色,分遍涂裝并保證遍間時間間隔,不能出現流墜。
三、自流平地面
(1)墻、柱、梁面環氧樹脂面層完成。
(2)地面清理干凈、滿足要求。可用高壓氣體吹掃后用真空吸塵器吸塵,但吹掃時易揚塵,需有相應措施控制;也可用高壓水沖洗,但要能及時排水,且需待基層干燥后才能施工面層。
(3)試做樣板。考核工人施工工藝,確定材料配比,選定面層顏色。
(4)面層材料需滿足設計要求并有合格證。檢查材料的組份和配比。
(5)面層施工前應確定分片、分區界面并圍擋;區域封閉以防止揚塵;配置防毒、防火設施。
(6)施工過程控制配比稱量準確,攪拌充分,隨鋪隨刮,控制標高。
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